微纳加工事业部（MNF）

超精密加工及自由曲面加工技术

可用于制造各种平面、球面，凹/凸非球面、离轴非球面反射镜、非球面阵列、非涅尔反射镜、微沟槽阵列和多面棱镜等各种超精密关键元器件，其表面粗糙度高达纳米量级（Ra<10nm），实现光学质量表面的一次性成型加工。 天津微纳制造技术工程中心（MNMT）利用超精密数控金刚石车床，其精度高、稳定性好，分辨率达0.034nm，可对铝、铜、镍、金、塑料（PMMA 等）、硅、锗、硒化锌、硫化锌等材料进行加工，以及各种尺寸的光学注塑用模仁（如手机镜头透镜，数码相机镜头透镜等）。目前，MNMT开展自由曲面加工关键技术的研发及自由曲面关键件的生产，目前已申报多项国家发明专利，成为我国关键件的高水准制造基地。

精密检测技术

检测分析是超精密加工工序中必不可少的关键环节，在加工过程中需要有高精度的检测仪器来配合其做出合格的产品。我中心配备了各类国内外先进的检测分析仪器来保证产品的精度，包括非球面表面轮廓测量系统，白光干涉仪，超景深微观显微镜，扫描电子显微镜，激光干涉仪等。