微纳技术简介

微纳制造与测量技术作为一种新兴技术，在近30年的发展过程中，不仅吸引着世界各国科学家的研究热情，其在物理、化学、材料、生物、电子、化工、能源、环境、军事等众多领域的广阔前景，也令各国政府将其作为关键技术、战略技术加以大力支持。美国、日本、欧盟等都给予微纳技术研究以重金支持，一些国家在该领域的年资助额度达到数百亿美元，研发项目涵盖精密工程、微纳结构/器件、微纳机电系统（MNEMS）、微纳计量、纳米材料、纳米电子学等诸多领域。

微纳技术源自“微米/纳米”的尺度概念，通常是指对于微米级尺度、纳米级精度和表面粗糙度的结构、器件及系统的加工制造与表征测量。

目前，微纳加工制造技术主要包括：

·基于微切削和微磨削的超精密微纳机械加工技术；

·基于集成电路光刻工艺的微纳机电系统（MNEMS）制造技术；

·基于X射线光刻及电铸/塑铸工艺的LIGA技术；

·电火花加工技术；

·超短脉冲激光加工技术；

·电子束/离子束刻蚀技术；

·基于扫描探针显微技术（SPM）的纳米加工技术；等。

前2种技术历史最久、发展最为成熟。

微纳测量与表征技术主要包括：

·微结构综合特性测量技术；

·基于SPM的纳米测量技术；

·微纳传感器技术；等。