科研能力

·单点金刚石切削超精密微纳加工与研发

·光学自由曲面加工与研发

·聚焦离子束微纳加工与研发

·脆性材料加工与研发

·微注塑成型

·射频微纳机电系统（RF MNEMS）

·生物微纳机电系统（Bio MNEMS）

·光学微纳机电系统（Optical MNEMS）

·微纳机电系统传感器

·微纳机电系统封装

·微纳综合测量